一种基于电学特性判断LED器件可靠性的系统及其方法

摘要

本发明涉及半导体技术领域，尤其涉及一种基于电学特性判断LED器件可靠性的系统及其方法。由LCR采集模块分别采集标准LED样品和待测LED器件在不同负载下的电学信号，并由光电探测模块分别采集所述标准LED样品和待测LED器件在不同负载下的光学信号，控制处理模块接收的电学信号和光学信号，控制处理模块依照特定的数学模型分别建立标准LED样品以及待测LED器件的光强、负载电压、电导、电容、载流子浓度之间的定量关系，进而分别获得标准LED样品和待测LED器件的光学特性，并比较标准LED样品和待测LED器件的光学特性判断待测LED器件的可靠性。本发明可快速准确评测出LED产品的可靠性，便于改善LED制造过程中关键工艺以提高产品品质。