法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-10-16
授权
授权
2017-02-01
实质审查的生效 IPC(主分类):F02C7/042 申请日:20160801
实质审查的生效
2017-02-01
实质审查的生效 IPC(主分类):F02C 7/042 申请日:20160801
实质审查的生效
2017-01-04
公开
公开
2017-01-04
公开
公开
机译: 用于形成集成电路图案的兆音速浸没式光刻曝光设备,具有用于容纳曝光液的腔室,以及与进气道接合的兆声波板,该进气道用于通过曝光液传播声波。
机译: 电磁波的通道自变能,通过电子化带电耦合器增加出口或通道。包含或受者,移植物快或少,转化或改变为远距离的元素,接收强度,波,频率,时间的大小
机译: 具有火花点火功能的直喷式IC发动机的气缸具有两个进气道,这些进气道设计为在充气量变化时产生翻转流,其中一个通道被关闭以将翻转流转换为螺旋流