波纹管密封的高压气动比例减压阀

摘要

本发明公开了一种波纹管密封的高压气动比例减压阀，该高压气动比例减压阀包括三段式的阀体、由金属波纹管密封的两段阀芯、阀体与阀芯之间的三个直线滚珠轴承、两个高速开关阀和控制器。阀芯与阀体之间相对运动同时又需要密封的位置全部采用金属波纹管进行密封，并且阀芯和阀体相对运动且接触的位置全部采用直线滚珠轴承进行导向，使阀芯和阀体之间具有较小的摩擦力和良好的气体密封性能。