法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-09-28
授权
授权
2016-07-20
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C16/27 申请日:20141031
实质审查的生效
2016-07-20
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 16/27 申请日:20141031
实质审查的生效
2016-06-22
公开
公开
2016-06-22
公开
公开
机译: DLC成膜方法及DLC成膜装置
机译: 其他含元素的蒸发源,DLC成膜方法以及DLC成膜装置
机译: DLC成膜方法及DLC成膜