高纯度二甲基亚砜、和二甲基亚砜与胺类混合物的纯化方法

摘要

本发明涉及从作为在电子材料等的处理中使用的特殊洗涤液、特殊剥离液等在工业上被广泛使用的DMSO及DMSO和MEA等的胺类的混合物廉价且效率高地纯化高纯度DMSO及DMSO和胺类的混合物的方法。从含有二甲基亚砜和胺类的混合物中，通过蒸馏分离回收含有95%或以上DMSO的高纯度二甲基亚砜，或含有胺类65%或以上的二甲基亚砜和胺类，纯化高纯度二甲基亚砜及二甲基亚砜和胺类的混合物。