公开/公告号CN105518532B
专利类型发明专利
公开/公告日2018-10-09
原文格式PDF
申请/专利权人 卡尔蔡司SMT有限责任公司;
申请/专利号CN201480049179.8
发明设计人 M.赫尔曼;
申请日2014-06-25
分类号
代理机构北京市柳沈律师事务所;
代理人侯宇
地址 德国上科亨
入库时间 2022-08-23 10:17:46
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-10-09
授权
授权
2016-08-31
实质审查的生效 IPC(主分类):G03F7/20 申请日:20140625
实质审查的生效
2016-08-31
实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20140625
实质审查的生效
2016-04-20
公开
公开
2016-04-20
公开
公开
机译: 镜子,尤其是用于微光刻投影曝光设备的镜子
机译: 镜子,尤其是用于微光刻投影曝光设备的镜子
机译: 在微光刻投影曝光设备中校正像散的方法,这种投影曝光设备的投影物镜以及用于微图案化部件的制造方法