公开/公告号CN105278659B
专利类型发明专利
公开/公告日2018-09-14
原文格式PDF
申请/专利权人 中国电信股份有限公司;
申请/专利号CN201410271463.1
申请日2014-06-18
分类号
代理机构中国国际贸易促进委员会专利商标事务所;
代理人许蓓
地址 100033 北京市西城区金融大街31号
入库时间 2022-08-23 10:17:34
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-09-14
授权
授权
2016-03-16
实质审查的生效 IPC(主分类):G06F3/01 申请日:20140618
实质审查的生效
2016-03-16
实质审查的生效 IPC(主分类):G06F 3/01 申请日:20140618
实质审查的生效
2016-01-27
公开
公开
2016-01-27
公开
公开
机译: 检测目标定位装置,检测目标定位方法和视线追踪装置
机译: 目标定位装置,用于驱动目标定位装置的方法以及包括这种目标定位装置的光刻系统
机译: 目标定位装置,用于驱动目标定位装置的方法以及包括该目标定位装置的光刻系统