法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-09-11
授权
授权
2017-02-15
实质审查的生效 IPC(主分类):F03H1/00 申请日:20160831
实质审查的生效
2017-02-15
实质审查的生效 IPC(主分类):F03H 1/00 申请日:20160831
实质审查的生效
2017-01-18
公开
公开
2017-01-18
公开
公开
机译: 用于霍尔效应推力器的紧凑型高电流稀土发射空心阴极
机译: 在工作真空室中产生空心阴极电弧放电等离子体并通过减少流过空心阴极的气体流量来调节暴露于空心阴极电弧放电等离子体的物料蒸汽颗粒的方法
机译: 用于产生空心阴极等离子体的设备以及使用空心阴极等离子体的大面积基质处理设备,该设备能够对等离子体进行灰化,清洁和蚀刻