形成金属氧化物膜的方法和在气体放电管中形成二次电子发射膜的方法

摘要

根据本发明，提供一种形成金属氧化物膜的方法，该方法包括：当通过对在管内壁上形成的含有有机金属化合物的涂层膜进行热处理以形成金属氧化物膜时，在热处理之前或与热处理同时对涂层膜进行紫外照射处理或臭氧处理。