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TEM放大率校准方法及用于校准的样品的形成方法

摘要

一种TEM放大率校准方法及用于放大率校准的样品的形成方法,其中校准方法包括:样品包括:衬底、位于衬底上的至少三层石墨烯层,石墨烯层厚度方向为第一方向;下层的石墨烯层在第二方向具有伸出上层石墨烯层外的凸出部分,顶层石墨烯层和所有凸出部分在第二方向的宽度w

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2018-09-07

    授权

    授权

  • 2016-04-27

    实质审查的生效 IPC(主分类):G01N23/04 申请日:20140826

    实质审查的生效

  • 2016-04-27

    实质审查的生效 IPC(主分类):G01N 23/04 申请日:20140826

    实质审查的生效

  • 2016-03-30

    公开

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  • 2016-03-30

    公开

    公开

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