用于产生低能量离子束的离子光学装置和方法

摘要

这项发明提供用来产生低能量离子束的离子光学方法和装置。该装置包括用来加速离子束的加速电极、在加速电极的下游用来阻止等离子束中的电子到达减速电极的减速电极。为了阻止热离子到达加速电极，减速电极被加上为给等离子束中的热离子提供位垒而选定的偏压。离子光学元件或许是作为电子相斥电极或作为磁性元件实现的。加速电极、减速电极或两者可能在横穿离子束的方向上被分段，以便定义能单独控制的电极段。离子光学装置可能是作为离子源引出系统或作为减速透镜系统实现的。