首页> 中国专利> 一种烧蚀状态下中Z元素透射能流的测量靶

一种烧蚀状态下中Z元素透射能流的测量靶

摘要

本发明公开了一种烧蚀状态下中Z元素透射能流的测量靶,包括有黑腔靶,黑腔靶呈上下开口、中间贯通的管状结构,黑腔靶的侧壁上开设有对称分布的第一诊断孔和第二诊断孔,第一诊断孔所在的平面与第二诊断孔所在的平面所成的角度为45°,第一诊断孔和第二诊断孔内分别放置有第一样品靶和第二样品靶,第一样品靶和第二样品靶的材料不一致,第一样品靶和第二样品靶所成角度为45°。本发明结构简单,能同时测量两种不同掺杂元素所对应的透射能流,尽可能地避免了因系统误差造成的实验差异。

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2020-01-10

    未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G21B1/23 授权公告日:20180824 终止日期:20190124 申请日:20170124

    专利权的终止

  • 2018-08-24

    授权

    授权

  • 2018-08-24

    授权

    授权

  • 2017-05-24

    实质审查的生效 IPC(主分类):G21B1/23 申请日:20170124

    实质审查的生效

  • 2017-05-24

    实质审查的生效 IPC(主分类):G21B1/23 申请日:20170124

    实质审查的生效

  • 2017-05-24

    实质审查的生效 IPC(主分类):G21B 1/23 申请日:20170124

    实质审查的生效

  • 2017-04-26

    公开

    公开

  • 2017-04-26

    公开

    公开

  • 2017-04-26

    公开

    公开

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