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具有offner型宏光具的印版制图像装置

摘要

提出一种用于印版(29)的制图像装置,具有一个光源(12)阵列和一个安置在后面的微光具(14),该微光具产生光源(12)的中间虚像(18),其特点为,在微光具(14)后面安置一个光学装置(10),该光学装置至少包括具有一个共同曲率中心点的一个凸面镜(26)和一个凹面镜(24),它产生中间虚像(18)的实像(28)。通过由凸面镜(26)和凹面镜(24)组成的该光学装置(10)的一种整体结构(40)可以达到紧凑的、节省结构空间的构造。本发明用于印版(29)的制图像装置可以特别有利地用于印版曝光器或者印刷机印刷装置中。

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2011-06-08

    未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G03F 7/20 授权公告日:20070207 终止日期:20100329 申请日:20020329

    专利权的终止

  • 2007-02-07

    授权

    授权

  • 2004-03-10

    实质审查的生效

    实质审查的生效

  • 2002-11-13

    公开

    公开

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