6. 高分解能分光·画像計測用X線光学素子の最前線6.2　位相型フレネルゾーンプレートによる高空間分解結像

摘要

フレネルゾーンプレ一ト（FZP：Fresnel Zone Plate）は，Ⅹ線を透過させる間隙輪帶とⅩ線をブロックする物質輸帶とが交互に同心円状に並べられた回折光学素子であり，高空間分解結像素子として多万両で用いられてきた.まず，従来多くの場合には，FZPはコーデドイメージング素子としてイ鯛され，画像再生によって光源の像を得ることがなされてきた［1］.特に核反応により生成されるアルファ粘子のイメージングなど回折が期待できない場合にはこれが有効であった.しかしⅩ線に対してこの手法を用いると馳伸噺馴刷こよる回折のため空間分解能が約10μm程度に制限される．