用于增大MEMS辐射热测量计中的红外吸收的装置和方法

摘要

一种半导体传感器包括衬底和吸收体。所述衬底包括至少一个反射部件。所述吸收体与所述至少一个反射部件间隔开一距离。所述吸收体限定多个开口，所述多个开口中的每一个具有小于或等于所述距离的最大宽度。