一种球体表面微小瑕疵的光学快速检测装置

摘要

一种球体表面微小瑕疵的光学快速检测装置，包括偏振激光器，所述偏振激光器的输出方向设置第一偏振片和分光棱镜，所述分光棱镜的反射出光侧依次布置1/2波片、渥氏棱镜和物镜，所述物镜远离渥氏棱镜的另一侧为被测面；所述分光棱镜的折射出光侧布置反射镜，所述反射镜的出光方向依次布置第二偏振片、第二汇聚镜和用于实现剪切干涉检测的第一光电探测器，所述反射镜、分光棱镜、1/2波片、渥氏棱镜和物镜位于同一光轴上。本发明提供一种提升检测效率、减少误判率的球体表面微小瑕疵的光学快速检测装置。