反0.532μm及1.064μm、透0.6μm-0.9μm光谱分光膜的膜系结构

摘要

本发明提出一种反0.532μm及1.064μm、透0.6μm‑0.9μm光谱分光膜的膜系结构，包括透明基片和分光膜膜系，分光膜膜系由两种薄膜材料H和二氧化硅，按照结构Glass|(²/₃H⁴/₃SiO₂)^m|Air或Glass|(⁴/₃H²/₃SiO₂)^m|Air制备得到，其中薄膜材料H为二氧化钛、二氧化锆或五氧化二钽，m为重复周期；分光膜膜系中的部分膜层采用非极值层。该膜系结构对0.532μm及1.064μm的激光高反射，对0.6μm‑0.9μm的光高透过，并且能经受住高、低温存储，温度冲击等环境试验，附着力试验及中度摩擦试验。