波前相位校正装置

摘要

本发明涉及光学仪器领域，提供了三种波前相位校正装置。针对现有技术中连续表面变形镜阵列密度受限、波前校正效果有限且制造工艺要求高、制造成本高的问题，本发明将一个完整的多致动器致动的连续表面变形镜分割成多个由单致动器或小数目致动器组致动的连续表面变形镜单元，并对于不同的应用情形，提供了单点单层式、单点双层式和多点式的波前相位校正装置，能够增大波前相位校正的等效致动器密度，从而优化了波前相位校正效果，简化了连续表面变形镜的制造工艺、降低制作成本。