法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-08-17
授权
授权
2017-12-12
实质审查的生效 IPC(主分类):G01J1/20 申请日:20170705
实质审查的生效
2017-11-17
公开
公开
机译: 在光学曝光设备中用于优化光源轮廓的方法以及其中使用这种优化方法设置光源轮廓的光学曝光方法,特别是当光倾斜地朝向掩模投射时
机译: 卫星系统的至少一种性能的优化方法,卫星系统的优化装置,卫星接收机和卫星系统
机译: 光源优化方法,曝光方法,器件制造方法,程序,曝光设备,光刻系统,光源评估方法和光源调制方法