面向精度设计的硅微机械陀螺系统参数获取方法

摘要

发明公开了一种面向精度设计的硅微机械陀螺系统参数获取方法，属于微机电系统设计领域。该方法通过建立参数之间的关联，给出一套从陀螺精度指标出发，考虑精度，电路噪声，带宽，灵敏度，谐振频率，品质因数，机械噪声，寄生电容，反馈电容，电容分辨率，驱动位移，激励电压等参数，以中心电容为结束的完整设计流程，为硅微机械陀螺的精度设计提供指导方法。本专利通过建立参数之间的关联，克服硅微机械陀螺参数复杂、多样的特点对设计者造成的困扰，完成面向精度的陀螺系统参数设计。