法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-08-10
授权
授权
2017-02-15
实质审查的生效 IPC(主分类):G01M11/02 申请日:20160623
实质审查的生效
2017-01-18
公开
公开
机译: 成像干涉仪传递函数校正方法,涉及调整干涉仪的子瞳组件的组成和所选子组件的采集顺序,以选择奈奎斯特广场中的频率分量
机译: 使用干涉仪的分析系统及其控制方法,能够通过调节腔的长度来优化干涉仪的性能
机译: 用于干涉仪的系统,干涉仪系统以及用于干涉仪的方法