光刻设备、用于将物体定位在光刻设备中的方法以及器件制造方法

摘要

本发明涉及一种光刻设备，包括：第一物体；第二物体，可沿移动方向相对于第一物体移动；一组缆线和/或管材，布置于所述第一物体和所述第二物体之间；引导筒，用以引导所述一组缆线和管材，所述引导筒可绕垂直于所述移动方向延伸的旋转轴线旋转；筒定位装置，用以定位所述引导筒，使得所述引导筒遵循由所述第二物体相对于所述第一物体的移动所导致的所述一组缆线和/或管材的移动；和引导结构，用以引导所述引导筒沿所述移动方向的移动。