公开/公告号CN105702550B
专利类型发明专利
公开/公告日2018-08-17
原文格式PDF
申请/专利权人 朗姆研究公司;
申请/专利号CN201510934397.6
申请日2015-12-15
分类号
代理机构上海胜康律师事务所;
代理人樊英如
地址 美国加利福尼亚州
入库时间 2022-08-23 10:15:04
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-08-17
授权
授权
2016-07-20
实质审查的生效 IPC(主分类):H01J37/32 申请日:20151215
实质审查的生效
2016-06-22
公开
公开
机译: 宽动态范围离子能量控制,快速离子能量转换,离子能量控制和脉冲偏置电源以及虚拟前面板
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