通过RF脉冲形状进行离子能量控制

摘要

本文描述了通过RF脉冲形状进行离子能量控制，具体描述了用于离子能量的斜坡控制的方法。该方法包括接收指示使用射频(RF)脉冲信号来执行蚀刻操作的设置。RF脉冲信号包括第一状态和第二状态。第一状态相比于第二状态具有较高的功率电平。该方法还包括接收与所述RF脉冲信号相关联的脉冲斜坡。脉冲斜坡提供第一状态和第二状态之间的过渡。此外，在蚀刻操作期间，脉冲斜坡不是基本上无穷大以减少离子能量等。方法包括确定功率电平和定时以实现脉冲斜坡并发送功率电平和定时到RF产生器以产生RF脉冲信号。