公开/公告号CN105655264B
专利类型发明专利
公开/公告日2018-07-31
原文格式PDF
申请/专利权人 北京时代民芯科技有限公司;北京微电子技术研究所;
申请/专利号CN201511028690.2
申请日2015-12-30
分类号H01L21/60(20060101);
代理机构11009 中国航天科技专利中心;
代理人臧春喜
地址 100076 北京市丰台区东高地四营门北路2号
入库时间 2022-08-23 10:14:30
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-07-31
授权
授权
2016-07-06
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/60 申请日:20151230
实质审查的生效
2016-06-08
公开
公开
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