公开/公告号CN106197660B
专利类型发明专利
公开/公告日2018-07-06
原文格式PDF
申请/专利权人 浙江生辉照明有限公司;交科院检测技术(北京)有限公司;
申请/专利号CN201610551485.2
申请日2016-07-11
分类号
代理机构杭州丰禾专利事务所有限公司;
代理人曹康华
地址 314015 浙江省嘉兴市秀洲工业区生辉路39号
入库时间 2022-08-23 10:14:20
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-07-06
授权
授权
2017-01-04
实质审查的生效 IPC(主分类):G01J1/42 申请日:20160711
实质审查的生效
2016-12-07
公开
公开
机译: 动态吸附/解吸评估装置,动态吸附和解吸润湿性评估方法,以及动态释放/释放湿度评估计划
机译: 动态水分渗透性评估装置动态水分渗透性评估方法和动态水分渗透性评估程序
机译: 晶片平坦度评估方法,执行该评估方法的晶片平坦度评估装置,使用该评估方法的晶片制造方法,使用该评估方法的晶片质量保证方法,使用该评估方法的半导体器件制造方法以及使用通过评估的晶片的半导体器件制造方法评估方法