基于纳米线平台的宽动态范围流体传感器

摘要

一种用于检测流体样本中的物质的浓度的器件(100)，该器件包括：衬底(102)；布置在衬底(102)上的绝缘层(104)；布置在绝缘层(104)上的多根单独电可访问的半导体纳米线(106、108、110)，多根纳米线中的每一根纳米线由绝缘材料(202、204、206)覆盖并且被布置用于通过纳米线的电特性来感测物质；以及用于提供与多根纳米线中的每根纳米线接触的流体样本的样本隔间(118)；其中对于多根纳米线(106、108、110)中的每根纳米线，选择截面尺寸、绝缘体厚度和绝缘材料类型中的至少一项使得纳米线中的每根纳米线具有不同的检测范围，并且使得器件的动态范围比单独纳米线中的每根纳米线的动态范围更高。