扫描探针显微镜中压电执行器模型参数标定和非线性校正方法

摘要

本发明涉及一种扫描探针显微镜中的压电执行器参数标定和非线性校正方法。本发明提出的方法是：(1)扫描标准光栅样品，获得其SPM图像；(2)利用压电执行器模型参数标定软件获取压电执行器模型参数，(3)进行非线性在线校正前的数据转换，(4)在线进行非线性校正。本发明基于标准光栅样品SPM图像的压电执行器模型参数标定软件，以获得压电执行器模型参数，进行压电执行器非线性校正，消除SPM图像特征扭曲，并大为降低SPM产品标定的复杂程度。