确定测量模式和光学系统参数容差的方法和装置

摘要

本发明提供了一种用于确定OCD测量中的光学系统参数容差的方案，其中，对于多个测量模式中的每一个测量模式所对应的归一化的信号偏移量；并从所述多个测量模式中选择所对应的归一化的信号偏移量最大的测量模式，作为最佳测量模式；并根据最佳测量模式所对应的未归一化的信号偏移量，确定所述光学系统参数容差。根据本实施例的方法，可以确定满足各个结构参数测量灵敏度和精确度需求的最佳测量模式，并确定各个光学系统参数容差，从而提高测量的灵敏度和精确度。