影像感测器用的晶圆积层体的分断方法及分断装置

摘要

本发明是关于一种能够不使用切割锯，而以干式的简单手法具效果地、且较完美地进行分断的影像感测器用晶圆积层体的分断方法及分断装置。本发明的分断方法，该影像感测器用晶圆积层体(W)，具有将玻璃晶圆(1)与硅晶圆(2)，借由以包围各光电二极管形成区域(3)的方式配置的树脂层(4)贴合而成的构造；使刻划轮(10)，沿着玻璃晶圆(1)上面的分断预定线按压、转动而形成刻划线(S1)；使于刃体(25a)前端具有突状的刃前端(25b)的钻石刃刀具(25)，沿硅晶圆(2)的外表面的分断预定线按压、移动而形成刻划线(S2)；从硅晶圆(2)的外表面侧沿着刻划线(S2)以按压构件(14)按压而使晶圆积层体(W)挠曲，分断玻璃晶圆(1)及硅晶圆(2)。