一种用于产生旋转对称偏振光的微结构器件的设计方法

摘要

一种用于产生旋转对称偏振光的微结构器件的设计方法，属于光学技术领域。本发明针对微结构器件的沟槽结构进行设计。步骤1：计算沟槽结构的最终蚀刻深度值h;步骤2：计算沟槽整体形状；其中，预设参数：光源波长λ，微结构器件材料折射率n_s，填充因子a/d，蚀刻深度初值h₀，周期宽度d，半径R，沟槽数量n；所述半径R为器件本体最大圆周处的点至器件本体中心的距离；步骤3：根据步骤1、2形成微结构器件。本发明设计简单且精度高，获得的偏振光束偏振质量高。