旋转平移绝对检测法中确定光学元件中心的装置及方法

摘要

旋转平移绝对检测法中确定光学元件中心的装置及方法，涉及高精度球面面形检测加工领域。该方法为以光学元件外圆为中心做4个标记点；调节光学元件使干涉仪条纹为零条纹；当转台在0度位置时检测光学元件，记录4个标记点的像素位置坐标得到光学元件中心的像素位置坐标(X1，Y1)；旋转转台在0度、90度、180度、270度位置检测光学元件记录4个角度位置下任一标记点的像素位置坐标，得到光学元件被检区域中心的像素位置坐标(X2，Y2)；光学元件外圆中心与被检测区域中心偏离的像素数为(X1‑X2，Y1‑Y2)，用调整机构在X，Y方向上分别共心平移光学元件，使得光学元件被检测区域中心与光学元件中心重合。本发明快速、结构和过程简单、成本低、精度高。