基于旋转平移的标准平面绝对检测方法

目录

摘要

1．1课题研究背景及意义

1．2国内外研究现状

1．2．1大口径干涉仪的发展现状

1．2．2标准平面绝对检测技术研究现状

1．3论文的主要研究内容

1．4章节安排

2标准平面绝对检测基本理论

2．1传统绝对检测方法

2．1．1三平面互检法

2．1．2平移剪切法

2．2旋转平移法

2．2．1N次等角度旋转平移法

2．2．2基于Zernike多项式拟合的旋转平移法

2．3仿真分析

2．3．1平移剪切法仿真

2．3．2N次等角度旋转平移法仿真

2．3．3基于Zernike多项式拟合的旋转平移法仿真

2．4本章小结

3旋转平移绝对检测偏心误差修正研究

3．1偏心误差

3．2图像配准偏心误差修正方法

3．2．1偏心误差量计算

3．2．2偏心误差修正

3．3偏心误差修正仿真

3．4偏心误差修正实验

3．4．1实验方案

3．4．2实验过程及结果

3．5本章小结

4标准平面绝对检测实验

4．1100mm标准平面绝对检测实验

4．1．1实验装置

4．1．2旋转平移绝对检测实验

4．2320mm标准平面绝对检测实验

4．2．1实验装置

4．2．2绝对检测对比实验

4．2．3重复性检测实验

4．3本章小结

5误差分析

5．1旋转平移参量误差

5．1．1平移误差

5．1．2旋转误差

5．1．3平移台位置误差

5．2随机误差

5．2．1噪声影响

5．2．2环境影响因素

5．3本章小结

6．1结论

6．2展望

参考文献

攻读硕士学位期间发表的论文及成果

致谢

声明