飞秒激光刻蚀增强非晶硅薄膜太阳能电池性能的方法

摘要

一种飞秒激光刻蚀增强非晶硅薄膜太阳能电池性能的方法，将p‑i‑n结构非晶硅薄膜太阳能电池，固定于飞秒激光微纳加工平台，飞秒激光脉冲经10倍物镜的显微镜系统垂直入射，聚焦在薄膜太阳能电池n型非晶硅膜表面上；线偏振飞秒激光脉冲将对非晶硅薄膜太阳能电池n型非晶硅膜表面上进行绒化处理，得到高效的p‑i‑n结构非晶硅薄膜太阳能电池。优点是：工艺简单，成本低廉，光电转换性能提高显著，得到的太阳能电池光电转换效率达到14.9％，是未经处理非晶硅薄膜太阳能电池转换效率的2倍。