一种用于流体动态温度测量的多点薄膜热电偶结构

摘要

本发明涉及一种用于流体动态温度测量的薄膜热电偶测温传感器结构，由若干个周向均布的单点薄膜热电偶组成，每个薄膜热电偶由埋设在柱状主结构中的热电偶丝和暴露在主结构表面的镀膜层组成。各单点热电偶有着完全相同的结构和材质，但是镀膜层厚度各不相同。本发明的多点薄膜热电偶可以用于测量流体的动态温度，由于各点的响应速度不同，会得到多个不同的测量值。采用与多点薄膜热电偶匹配的补偿算法，可以省去大量的数值计算和标定实验，有效提高动态温度的测量精度。