分析层压物体中的形变的方法及相应系统

摘要

本发明涉及一种分析层压物体的方法以及用于分析层压物体的系统。此处的例示性实施方式涉及用于非破坏性地分析层压物体的光学干涉测量技术，其中利用大的表面来获得与检查中的物体的形貌有关的数据并且还处理所获得的形貌数据以识别表面缺陷的类型和/或严重性和/或位置。