一种控制辅助图形信号误报率的OPC建模方法

摘要

一种控制OPC辅助图形信号误报率的建模方法，包括设计测试主图形；所述测试主图形通常包含一维和二维的标准图形，并设计多组辅助图形添加在标准一维和二维图形周边；收集测试主图形的在线线宽量测数据及所述多组辅助图形成像数据；建立测试主图形版图与线宽量测数据之间的对应文件，增加多组辅助图形的成像图形信息与信号监测数据之间的对应点；进行模型拟合运算，使模型的线宽值与量测的线宽值残余误差达到统计最小，同时在模型拟合运算过程中增加监控多组辅助图形的成像图形信号；输出模型进行OPC图形修正。