OPC建模中次分辨率辅助图形确定的方法

摘要

本发明公开一种OPC建模中次分辨率辅助图形确定的方法，包括：步骤S1：在已有SRAF数据库中选择可曝在晶圆上的第一SRAF类型；步骤S2：选择具有第一SRAF类型的结构图形，并在结构图形中选取图形周期恰可加入1根和2根第一SRAF类型的结构图形进行CDSEM量测，收集数据建立可评估SRAF类型是否会曝在晶圆上的模型；步骤S3：通过模型模拟具有系列SRAF类型的版图数据库，以确定不会曝在晶圆上的SRAF类型；步骤S4：在SRAF类型中选取第二SRAF类型，并在晶圆上进行二次验证，以确定第二SRAF类型不会曝在晶圆上；步骤S5：基于具有第二SRAF类型的不同结构图形，收集OPC模型数据并开展建模。本发明不仅有效减少OPC建模前期准备工作量，缩短确定SRAF类型的时间和提高资源利用率，而且提高OPC建模效率和准确度。