公开/公告号CN105161635B
专利类型发明专利
公开/公告日2018-06-19
原文格式PDF
申请/专利权人 TCL集团股份有限公司;
申请/专利号CN201510376488.2
申请日2015-07-01
分类号H01L51/56(20060101);H01L51/50(20060101);
代理机构44268 深圳市君胜知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人王永文;刘文求
地址 516006 广东省惠州市仲恺高新技术开发区十九号小区
入库时间 2022-08-23 10:12:50
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-06-19
授权
授权
2017-06-06
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L51/56 申请日:20150701
实质审查的生效
2015-12-16
公开
公开
机译: EUV光刻投影设备,其包括具有自组装单层的光学元件,具有自组装单层的光学元件,施加自组装单层的方法,器件制造方法和由此制造的器件
机译: 包括具有自组装单分子层的光学元件,具有自组装单层分子的光学元件的EUV光刻投影设备,自组装单层分子的应用方法,器件制造方法以及由此制造的器件
机译: EUV光刻投影设备,其包括具有自组装单层的光学元件,具有自组装单层的光学元件,施加自组装单层的方法,器件制造方法和由此制造的器件