公开/公告号CN105742277B
专利类型发明专利
公开/公告日2018-06-22
原文格式PDF
申请/专利权人 中国航天科技集团公司第九研究院第七七一研究所;
申请/专利号CN201610228199.2
申请日2016-04-13
分类号H01L25/065(20060101);
代理机构61200 西安通大专利代理有限责任公司;
代理人李宏德
地址 710065 陕西省西安市雁塔区太白南路198号
入库时间 2022-08-23 10:12:44
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-06-22
授权
授权
2016-08-03
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L25/065 申请日:20160413
实质审查的生效
2016-07-06
公开
公开
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