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一种用于化学－机械抛光浆中颗粒的制备方法以及该方法制备的颗粒

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本发明提供一种在化学-机械抛光浆中作为研磨剂颗粒的生产方法。本发明方法包括将晶体助长剂例如Ti[OCH(CH₃)₂]]₄添加到铈盐水溶液中，用一种或更多碱将溶液的pH值调到大于7.0，然后溶液进行热水处理温度从90℃到大约500℃从而生成颗粒。

著录项

公开/公告号CN1296454C

专利类型发明授权
公开/公告日2007-01-24

原文格式PDF
申请/专利权人费罗公司;
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申请/专利号CN02822664.X
发明设计人奉向东;何亦轩;
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申请日2002-11-04
分类号C09K3/14(20060101);C09G1/02(20060101);C09C1/68(20060101);C09C3/06(20060101);
代理机构11243 北京银龙知识产权代理有限公司;
代理人钟晶
地址美国俄亥俄州
入库时间 2022-08-23 08:59:02

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2015-12-23

未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C09K 3/14 授权公告日:20070124 终止日期:20141104 申请日:20021104

专利权的终止
2007-01-24

授权

授权
2005-04-27

实质审查的生效

实质审查的生效
2005-02-23

公开

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