一种金属介质膜光栅的消色差相位延迟器

摘要

本发明属于光学器件技术领域，涉及一种金属介质膜光栅的消色差相位延迟器，其主体结构包括自上而下的SiO₂覆盖膜层和银质光栅结构，所述光栅结构上有通过蚀刻方法获得的光栅槽，该发明涉及的主要参数如下，覆盖膜层的折射率为1.46，覆盖膜层的厚度为154.2nm，光栅槽槽深为139.7nm，光栅结构的占空比为0.14，光栅结构的周期为68nm，入射角为20°‑40°，该发明在900‑1200nm波段其相位延迟量在90°的范围内最大偏差小于2.3％，该发明采用金属介质膜光栅结构，其透射率高、宽光谱、偏振性能好，适合工艺上的生产制备，性能上满足光学领域对位相延迟器的要求，其主体结构简单，安装使用方便，具有良好的市场应用前景，应用环境友好。