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公开/公告号CN105336757B
专利类型发明专利
公开/公告日2018-05-15
原文格式PDF
申请/专利权人 中国计量学院;
申请/专利号CN201510760260.3
发明设计人 唐莹;钱宏昌;彭应全;韦一;王颖;
申请日2015-11-06
分类号H01L27/28(20060101);H01L21/82(20060101);
代理机构33272 杭州奥创知识产权代理有限公司;
代理人王佳健
地址 310018 浙江省杭州市下沙高教园区学源街258号
入库时间 2022-08-23 10:11:36
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-05-15
授权
2016-07-27
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L27/28 申请日:20151106
实质审查的生效
2016-02-17
公开
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