热位移修正方法以及热位移修正装置

摘要

本发明提供能够进一步精度良好地修正加工点的热位移的工作机械的热位移修正方法以及热位移修正装置。该热位移修正方法具备：分别独立地推断支承体以及移动体的热位移的热位移推断工序；获取检测移动体的位置的刻度尺的安装位置的位移的刻度尺位置位移获取工序；获取支承体热变形之后的相对于支承体的移动体的实际位置的移动体实际位置获取工序；计算实际位置上的移动体的倾斜量的倾斜量计算工序；获取合成了支承体的热位移和移动体的热位移的位移的合成位移计算工序；基于合成的位移计算修正值的修正值计算工序；以及根据修正值修正移动体的指令位置的修正工序。