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具备防潮剂污染吸收及警示功能的线路板防潮剂表面喷涂设备

摘要

一种具备防潮剂污染吸收及警示功能的线路板防潮剂表面喷涂设备。其中的防潮剂防污染吸收系统包括:负压形成装置、防潮剂过滤装置和空气颗粒浓度测量装置;负压形成装置布置在所述工艺处理腔室内以使得所述工艺处理腔室的气压低于大气压;防潮剂过滤装置通过通气孔与所述工艺处理腔室连接,并且在负压形成装置的作用下吸收工艺处理腔室中的空气并对吸收的空气进行过滤;空气颗粒浓度测量装置用于检测所述工艺处理腔室的空气中的颗粒直径大于预定直径的颗粒的浓度,并且在测得的浓度值大于预定阈值时发出警报。

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2018-05-08

    授权

    授权

  • 2015-12-16

    实质审查的生效 IPC(主分类):B05B13/04 申请日:20150209

    实质审查的生效

  • 2015-06-10

    公开

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