公开/公告号CN103450242B
专利类型发明专利
公开/公告日2018-05-01
原文格式PDF
申请/专利权人 弗萨姆材料美国有限责任公司;
申请/专利号CN201310220939.4
申请日2013-06-03
分类号C07F7/02(20060101);C23C16/44(20060101);C23C16/34(20060101);C23C16/36(20060101);C23C16/40(20060101);
代理机构11256 北京市金杜律师事务所;
代理人吴亦华
地址 美国亚利桑那州
入库时间 2022-08-23 10:10:29
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-05-01
授权
授权
2017-06-16
专利申请权的转移 IPC(主分类):C07F7/02 登记生效日:20170527 变更前: 变更后: 申请日:20130603
专利申请权、专利权的转移
2014-01-15
实质审查的生效 IPC(主分类):C07F7/02 申请日:20130603
实质审查的生效
2013-12-18
公开
公开
机译: 单有机氨基乙硅烷前体和沉积包含相同膜的方法
机译: 有机氨基乙硅烷前体和沉积包含其的膜的方法
机译: 有机氨基乙硅烷前体和沉积包含其的膜的方法