缺陷检测器和缺陷检测方法

摘要

缺陷检测器的控制部件设有倍率运算部件、被测图像显示部件和主图像显示部件。倍率运算部件基于缺陷信息运算用于缺陷区域的显示倍率α1(显示倍率数据)。成像部件对被测图像数据成像，以便成像倍率β1达到显示倍率α1，并且被测图像显示部件在检测监视器上显示被测图像数据。主图像数据显示部件运算基本上等于显示倍率α1的主图像数据的显示倍率α2，并在检测监视器上以显示倍率α2显示主图像数据。因此，提高了操作者缺陷检测操作的效率。