公开/公告号CN106169410B
专利类型发明专利
公开/公告日2018-04-20
原文格式PDF
申请/专利权人 朗姆研究公司;
申请/专利号CN201610338268.5
申请日2016-05-19
分类号H01J37/32(20060101);H03H7/38(20060101);
代理机构31263 上海胜康律师事务所;
代理人樊英如;包孟如
地址 美国加利福尼亚州
入库时间 2022-08-23 10:09:53
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-04-20
授权
授权
2016-12-28
实质审查的生效 IPC(主分类):H01J37/32 申请日:20160519
实质审查的生效
2016-11-30
公开
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