一种基于P‑NiO/N‑ZnO:Al异质结结构的紫外探测器及其制备方法

摘要

本发明公开了一种基于P‑NiO/N‑ZnO:Al异质结结构紫外探测器及其制备方法，该探测器包括P型NiO薄膜和N型ZnO:Al薄膜构成的异质PN结。其制备方法如下：将六水合硝酸镍与甘氨酸或乙酰丙酮以一定比例混合配置成溶液，在一定温度下搅拌一段时间后旋涂成膜，薄膜退火处理后，得到NiO薄膜，之后在其上采用脉冲激光沉积的方法沉积ZnO:Al薄膜，得到P‑NiO/N‑ZnO:Al异质结。此方法制备简单，能耗低，可适用于大面积器件，由此制备的异质结具有良好的整流特性，制得的紫外探测器具有良好的性能。