一种可以对块体材料进行加工并实现原子尺度原位变形的方法和装置

摘要

一种可以对块体材料进行加工并实现原子尺度原位变形的方法和装置属于材料显微结构原位变形研究领域。现有研究方法的样品制备过程复杂，且只能研究种类很少的材料。本发明装置：包括充分考虑聚焦离子束系统的狭小工作空间和机械手工作角度后设计的支撑部分(1)、驱动部分(2)和连接部分(3)。支撑部分是金属半环；驱动部分是热驱动双金属片；连接部分是表面经过抛光的金属条。本发明方法：通过聚焦离子束从块体材料中剥离出用于变形的部分(4)；通过机械手将其转移、固定到本发明装置的连接部分上；再通过聚焦离子束将用于变形的部分加工成可以进行原子尺度观察的样品。本发明极大的简化样品制备过程，并可对绝大多数块体材料进行研究。